「研磨パッド」の検索結果 11件

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  • 2021.02.15

FILWEL社製研磨パッドで品質改善を! ~ 不織布ベースとPETベースの違い ~

前回はウレタンパッドをスエードパッドに切り替えることで、表面粗さ・面精度の良化を提案させて頂きましたが、今回はスエードパッドのベース部分に注目し、それぞれの長所を想定しながら実際に研磨評価を行いました。 現在、スエードパッドのベース層は大まかに「不織布」と「PETフィルム」の2種類があり、今回の評価はFILWEL社製パッド “ベラトリックス”の「N0178」と「NP178」を使用しました。 「N0 […]

  • 2020.10.09

FILWEL社製研磨パッドで品質改善を!(表面粗さ・面精度の良化)

~ ポリウレタンパッドからスエードパッドへの変更 ~ 石英基板などのガラス研磨で使用されているポリウレタンパッドをスエード製へ替えることで品質改善や良品率アップを図ることが出来るのか? この検証について、当社八王子R&Dセンターで加工テストを行ってみました。 通常、石英基板を研磨されているユーザー様ではセリウム研磨工程1段目はポリウレタンパッドを使用されていますが、今回、スエードパッド(P […]

  • 2020.09.01

研磨パッドの選び方

弊社では研磨に関係するご相談を数多くいただきますが、その中でも特に多いものが ①研磨レート ② 表面粗さ ③ 平坦度や端部形状 に関するご相談です。 ここではそれぞれについてどのような対策があるかご紹介したいと思います。 【研磨レートUP】 研磨レートをあげることで生産性をUPさせたい。 対策①…NAP層が厚いものを選びます。 対策②…NAP開孔径が大きいものを選びます。 スエードパッドはNAP層 […]

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研磨パッド

保管時の注意点 1.むき出しでの保管はしないむき出しの状態でパッドを置いておくと大気中のホコリ等が付着しキズの要因になります。 2.縦置きでの保管はしない必ず平置きで保管してください。縦置きだと、歪みや折れが発生し研磨値が大きくさがる、または品質の低下が懸念されます。 3.重ねすぎない平置きでも相当な枚数を重ねて保管すると、パッドの重みで下部のパッドがつぶれてしまい、十分な能力を発揮できなくなるこ […]

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