酸化セリウム研磨材《ミレーク™》

★酸化セリウム系研磨材「ミレーク™(MIREK™)

ミレーク™(MIREK™)は、半導体、電子工業、光学工業などの分野で液晶ガラス基板、光学レンズ、ハードディスク基板などの主にガラスの研磨に使われている酸化セリウム系の研磨材です。1次研磨工程から仕上げ研磨工程まで各工程の研磨条件に対応した品種を取り揃えております。
また、厳密な品質管理を行なっており、安定した品質をご提供致します。

ミレーク™(MIREK™)HLシリーズ
代表物性値、及び各品種の特徴と用途について

品種名HL05HLS0HLS2HLS3HLSS
組成La/CeLa/CeLa/CeLa/CeLa/Ce
形態乾粉乾粉乾粉乾粉乾粉
TREO(%)96.795.695.895.195.5
CeO2/TREO(%)67.166.465.865.865.9
La2O3/TREO(%)32.933.634.234.234.1
Pr6O11/TREO(%)<0.1<0.1<0.1<0.1<0.1
F(%)4.55.76.06.26.7
ブレーン径(㎛)0.530.881.121.57
比表面積(㎡/g)18.17.53.52.71.5
D50(㎛) ※10.730.891.191.412.04
粒度分布表
主な用途【仕上げ用】【仕上げ用】【1次研磨~  仕上げ用】【1次研磨用】【1次研磨用】
乾粉では最も粒径が細かいタイプ。石英基板の最終研磨などに使用されています。各種精密研磨の分野で多くの実績あり。最終仕上げ用などに使用されている品種となります。研磨レート、仕上げ面品位、ライフ特性にバランスの取れたタイプ。1次研磨~仕上げ研磨まで汎用性のある品種となります。1次研磨用の標準品種。研磨レート重視の品種となります。乾粉では最も粒径が粗いタイプ。特に、研磨レートに特化した品種となります。
荷姿20kg入/袋20kg入/袋20kg入/袋20kg入/袋20kg入/袋

※1:堀場社製測定装置による測定値

尚、上記数値は代表値であり保証値ではございません。

ミレーク™(MIREK™)Eスラリーシリーズ
代表物性値、及び各品種の特徴と用途について

品種名E020CSE030CS
組成La/Ce/PrLa/Ce/Pr
形態スラリースラリー
CeO2/TREO(%)62.563.5
La2O3/TREO(%)30.530.7
Pr6O11/TREO(%)4.54.3
F(%)5.55.5
D50(㎛) ※10.120.26
粒度分布表  
主な用途【精密仕上げ用】【精密仕上げ用】
水晶やフィルターガラス(ブルーガラス)等のファイナルポリッシュでコロイダルシリカ代替にも相当します。
スラリー濃度25%25%
荷姿20kg入/キュービテナー20kg入/キュービテナー

※1:堀場社製測定装置による測定値

※上記数値は代表値であり保証値ではございません。

★「ミレークHLシリーズ」と「ミレークEシリーズ」の違い
従来のEシリーズ(3元素品)からプラセオジムの混入を限りなくゼロに抑えたものが新しいHLシリーズ(2元素品)となります。

HLシリーズは、プラセオジムを抜くことにより価格の変動リスクの回避や原料の安定調達に繋がり、お客様への安定供給にもなります。

※色調:白色系(HLシリーズ)、赤褐色系(Eシリーズ)

組成ミレークHLシリーズミレークEシリーズ
TREO(%)96.295.8
CeO2/TREO(%)67.464.5
La2O3/TREO(%)32.630.0
Pr6O11/TREO(%)<0.15.3

※上記数値は代表値であり保証値ではありません。

★各シリーズの研磨レートと面粗度の関係について★ 

★品種表の見方(各項目の説明)★
・組成 主な成分構成(La:ランタン、Ce:セリウム、Pr:プラセオジム)
・形態 「乾粉」、または「スラリー」
・TREO Total Rare Earth Oxideの略で「総酸化希土」を表しています 

・CeO2/TREO 総酸化希土(TREO)中に酸化セリウムが何%入っているかの目安となります
・La2O3/TREO 総酸化希土(TREO)中に酸化ランタンが何%入っているかの目安となります
・Pr6O11/TREO 総酸化希土(TREO)中に酸化プラセオジムが何%入っているかの目安となります
・F フッ素含有率
・ブレーン径 粒度測定方法の一つ(試験粉体を一定の空隙率をもつ圧縮体に形成し、その圧縮体を通過する一定空気量に対する抵抗の程度によって比表面積を求める方法)によって求められた平均粒子径
・比表面積(SSA) 一定の量の物体、例えば溶液や粉体に含まれる全粒子の表面積の総和。(粒子が小さいほど大きな値を示す)

・D50 小さい粒子から積算して50%になる値(メジアン径)

 

上記以外の品種もございますので、ミレークをまだ試したことがないお客様、品質改善をご検討されているお客様や他社品からの切替えを検討されているお客様など、是非一度お問合せ下さいますよう宜しくお願い致します。

 

<問合せ先>
八千代マイクロサイエンス株式会社
研削研磨事業部 営業部
TEL:03-3256-6011(東京)/TEL:06-6948-6671(大阪)
E-Mail:eigyo@ymi.co.jp