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酸化セリウム研磨剤を 研磨レートから選ぶ

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★酸化セリウム研磨材「ミレーク(MIREK)」

【研磨レート】を品種を選ぶ際の指標として頂ければと思います。
「研磨値」は弊社八王子R&Dセンターで行った評価テストの結果となりますが、研磨レートと粒径との関係で品種選定の参考にして下さい。

品種名HL05HLS0HLS2HLS3HLSS
研磨値
(㎛/min)
7.58.931.335.036.8
組成La/CeLa/CeLa/CeLa/CeLa/Ce
形態乾粉乾粉乾粉乾粉乾粉
比表面積(㎡/g)18.17.53.52.71.5
D50(㎛) ※10.730.891.191.412.04

※1:堀場社製測定装置による測定値

尚、上記数値は代表値であり保証値ではございません。

《研磨条件》

加工条件 \ 品種HL05、HL0SHLS2、HLS3、HLSS
回転数(rpm)1,5002,800
スラリー濃度(wt%)10.016.7
加工圧力(g/㎠)450900
使用研磨パッドポリウレタンパッド(LP46)ポリウレタンパッド(LP46)

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