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研磨パッドの選び方

研磨パッドの選び方

弊社では研磨に関係するご相談を数多くいただきますが、その中でも特に多いものが

①研磨レート ② 表面粗さ ③ 平坦度や端部形状 に関するご相談です。

ここではそれぞれについてどのような対策があるかご紹介したいと思います。

【研磨レートUP】

研磨レートをあげることで生産性をUPさせたい。
対策①…NAP層が厚いものを選びます。
対策②…NAP開孔径が大きいものを選びます。

スエードパッドはNAP層に形成されたポア(タコつぼ状)に研磨材を保持し研磨しますが、
これらの対策を講じることで研磨パッドの研磨材の保持力が高くなり
その結果、
研磨レートUPが期待されます。
また溝を入れるのも効果が御座います。

【表面粗さ欠陥(キズ)の低減】
表面粗さ欠陥の低減により、歩留まり(良品率)を向上させたい。

対策①…NAP開孔径が小さいタイプを選びます。
対策②…NAPが柔らかいタイプを選びます。

NAP開孔径が小さい方が表面粗さを細かく仕上げることができます。
NAPが柔らかい方がワークにやさしく(ソフトに)接するためダメージが小さくその結果、
表面粗さ欠陥の低減が期待されます。

【平坦度・端部形状悪化の防止】
面精度悪化の防止により、歩留まり(良品率)を向上させたい。

対策①…硬度の高い(硬い)タイプを選びます。
対策②…NAPの高さが低いタイプを選びます。
対策③…PETフィルムベースタイプを選びます。

パッドの形状がワークに転写されますので、変形量の少ない硬く薄いパッドに効果が期待できます。

今後上記以外の対策もご紹介させて頂きたいと考えております。
ご要望等御座いましたら是非ご相談下さい。

<お問合せ先>

八千代マイクロサイエンス株式会社
研削研磨事業部 営業部
TEL:03-3256-6011(東京)/TEL:06-6948-6671(大阪)
E-Mail:eigyo@ymi.co.jp

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