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CATEGORY 営業Gからの情報発信

  • 2020.09.01

~研磨パッドの選び方~

弊社では研磨に関係するご相談を数多くいただきますが、その中でも特に多いものが ①研磨レート ② 表面粗さ ③ 平坦度や端部形状 に関するご相談です。 ここではそれぞれについてどのような対策があるかご紹介したいと思います。 【研磨レートUP】 研磨レートをあげることで生産性をUPさせたい。 対策①…NAP層が厚いものを選びます。 対策②…NAP開孔径が大きいものを選びます。 スエードパッドはNAP層 […]

  • 2020.09.01

酸化セリウム研磨剤を”比表面積”から選ぶ

【比表面積】を研磨材を選ぶ指標にしているユーザー様もございます。 ※比表面積(SSA:Specific surface area):一定の量の物体、例えば溶液や粉体に含まれる全粒子の表面積の総和。(粒子が小さいほど大きな値を示す) 品種名 HL05 HLS0 HLS2 HLS3 HLSS 比表面積(㎡/g) 18.1 7.5 3.5 2.7 1.5 組成 La/Ce La/Ce La/Ce La/ […]

  • 2020.08.06

ポリウレタンPADからスエードPADへ

今回、弊社では石英基板を加工されているユーザー様のセリウム研磨工程1段目などで主流として使用されているポリウレタンパッドからスエードパッド(PETフィルムベース)への代替えをご提案させて頂きたいと思います。   上記提案のメリットと致しまして、以下の項目についての向上が期待されます。 ・表面粗さの低減→次工程以降の研磨時間短縮 ・表面欠陥の低減→製品品質向上   それに伴い、研 […]