- 2021.07.02
FILWEL社製スエードパッドで研磨工程改善を！
スエードパッドは主に半導体・液晶パネル向けフォトマスク用ブランクス・光学フィルター等、精密ガラス研磨の2nd/3rdポリシングで使用されております。 このスエードパッドを1stポリシングに使用されているポリウレタンパッドの代替として提案させて頂きます。 スエードパッドはポリウレタンパッドより研磨速度は落ちますが、表面粗さが細かくなり2nd/3rdポリシングを含めた全体での加工時間の短縮、また表面欠 […]
Sky
- 2021.02.15
FILWEL社製研磨パッドで品質改善を！ ～ 不織布ベースとPETベースの違い ～
前回はウレタンパッドをスエードパッドに切り替えることで、表面粗さ・面精度の良化を提案させて頂きましたが、今回はスエードパッドのベース部分に注目し、それぞれの長所を想定しながら実際に研磨評価を行いました。 現在、スエードパッドのベース層は大まかに「不織布」と「PETフィルム」の2種類があり、今回の評価はFILWEL社製パッド “ベラトリックス”の「N0178」と「NP178」を使用しました。 「N0 […]
- 2020.10.09
FILWEL社製研磨パッドで品質改善を！（表面粗さ・面精度の良化）
～ ポリウレタンパッドからスエードパッドへの変更 ～ 石英基板などのガラス研磨で使用されているポリウレタンパッドをスエード製へ替えることで品質改善や良品率アップを図ることが出来るのか？ この検証について、当社八王子R&Dセンターで加工テストを行ってみました。 通常、石英基板を研磨されているユーザー様ではセリウム研磨工程1段目はポリウレタンパッドを使用されていますが、今回、スエードパッド（P […]
- 2019.02.08
白いミレークMIREK™（酸化セリウム研磨材）増殖中！（茶色から白色へ）
こんにちは。 前回、『酸化セリウム系研磨材のミレーク™（ＭＩＲＥＫ™）』の紹介をさせて頂きましたが、今回はそのミレークが白くなる！？というお話です。 白いミレーク 現在のミレークEシリーズは茶色やベージュ色をしていますが、最近、新たに白色のミレークが出てきております。 既に、以前から海外品などでは白い研磨材が存在していましたが、現在、ミレーク含め国内メーカ […]