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2020年9月

  • 2020.09.01

研磨パッドの選び方

弊社では研磨に関係するご相談を数多くいただきますが、その中でも特に多いものが ①研磨レート ② 表面粗さ ③ 平坦度や端部形状 に関するご相談です。 ここではそれぞれについてどのような対策があるかご紹介したいと思います。 【研磨レートUP】 研磨レートをあげることで生産性をUPさせたい。 対策①…NAP層が厚いものを選びます。 対策②…NAP開孔径が大きいものを選びます。 スエードパッドはNAP層 […]