基本単位
研削研磨または凝集剤等でよく使われる単位のまとめ
荷重
a．kg ⇒おなじみの重さの単位
b．g/cm2 ⇒平方センチメートル当たりの重さ
回転数
a．rpm
b．min-1 ※a、bともに同じ意味です
平坦度・平面度(ある1面のうねりやゆがみなど、滑らかさを表す)
a．μm ⇒Flatness Testerでp-VやSORI等の単位として
b．λ(ﾗﾑﾀﾞ)⇒He-Neレーザー：0.632μm、光の波長：0.570μm
c．干渉縞 ⇒1本0.3μm(λ/2)※ニュートン環
平行度(相対する面との厚み差を表す)
a．μm ⇒マイクロメーターや測定器でTTVやTV5の単位としてよく使われる。
b．秒 ⇒角度を表す（注：素材サイズによって数値の変化がある）
※100㎜の長さに対し1秒≒0.48μm
濃度
a．％ ⇒百分率
10％希釈液を作る場合：溶質(例：研削液）1に対し溶媒(例：水)9
b．ppm ⇒百万分率
[mg/L]でも表される。例）500ppm=500mg/L＝0.5g/L