- 2021.07.02
FILWEL社製スエードパッドで研磨工程改善を！
スエードパッドは主に半導体・液晶パネル向けフォトマスク用ブランクス・光学フィルター等、精密ガラス研磨の2nd/3rdポリシングで使用されております。 このスエードパッドを1stポリシングに使用されているポリウレタンパッドの代替として提案させて頂きます。 スエードパッドはポリウレタンパッドより研磨速度は落ちますが、表面粗さが細かくなり2nd/3rdポリシングを含めた全体での加工時間の短縮、また表面欠 […]
「研磨材」の検索結果 32件
- 2021.06.01
ストレートゲージって何？定盤形状を捉える考え方／問題を特定する考え方
お久しぶりです、研削研磨ドットコムです。 様々な事情から現場の見直しや、工程を見直す時間が増えた方も多いかと思います。 これもまた必要な時間ですよね。 もちろん自分自身の見直しも行い、問題点も分かっているのですが、治りません！ 聞く所によると35歳以上で自分に変化を起こせるのはレアモンらしいです。 あぁ…また脱線してしまいました。（見直し） さて、今回久々に記事を書いているのには理由があります。 […]
- 2021.02.15
FILWEL社製研磨パッドで品質改善を！ ～ 不織布ベースとPETベースの違い ～
前回はウレタンパッドをスエードパッドに切り替えることで、表面粗さ・面精度の良化を提案させて頂きましたが、今回はスエードパッドのベース部分に注目し、それぞれの長所を想定しながら実際に研磨評価を行いました。 現在、スエードパッドのベース層は大まかに「不織布」と「PETフィルム」の2種類があり、今回の評価はFILWEL社製パッド “ベラトリックス”の「N0178」と「NP178」を使用しました。 「N0 […]
- 2020.10.09
研磨パッド(ベラトリクス)で品質改善を！（表面粗さ・面精度の良化）
～ ポリウレタンパッドからスエードパッドへの変更 ～ 石英基板などのガラス研磨で使用されているポリウレタンパッドをスエード製へ替えることで品質改善や良品率アップを図ることが出来るのか？ この検証について、当社八王子R&Dセンターで加工テストを行ってみました。 通常、石英基板を研磨されているユーザー様ではセリウム研磨工程1段目はポリウレタンパッドを使用されていますが、今回、スエードパッド（P […]
- 2020.09.01
研磨パッドの選び方
弊社では研磨に関係するご相談を数多くいただきますが、その中でも特に多いものが ①研磨レート ② 表面粗さ ③ 平坦度や端部形状 に関するご相談です。 ここではそれぞれについてどのような対策があるかご紹介したいと思います。 【研磨レートUP】 研磨レートをあげることで生産性をUPさせたい。 対策①…NAP層が厚いものを選びます。 対策②…NAP開孔径が大きいものを選びます。 スエードパッドはNAP層 […]