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ポリウレタンPADからスエードPADへ

ポリウレタンPADからスエードPADへ

今回、弊社では石英基板を加工されているユーザー様のセリウム研磨工程1段目などで主流として使用されているポリウレタンパッドからスエードパッド(PETフィルムベース)への代替えをご提案させて頂きたいと思います。

 

上記提案のメリットと致しまして、以下の項目についての向上が期待されます。

・表面粗さの低減→次工程以降の研磨時間短縮
・表面欠陥の低減→製品品質向上

 

それに伴い、研磨材使用量等の軽減、産廃量の削減などによるコスト削減も見込まれます。特に、研磨工程が何段階かに分かれているユーザー様には品質改善や良品率アップなどのメリットが出てきます。

 

★比較評価に使用した研磨パッドは下記2種類となります。

・ポリウレタンパッド: 某社製セリウム含浸タイプ
・スエードパッド  : ㈱FILWEL製ベラトリックス NP515

【研磨パッド物性表】

 

厚み

硬度

ポリウレタンパッド

0.80mm

78(Shore A)

NP515

0.68mm

81(Asker-C)

 


※ポリウレタンパッド                              ※スエードパッドNP515

 

【テスト加工条件】

研磨機

浜井産業社製 両面機5B (2Mサンギア40% キャリア正転)

加工ワーク

石英基板 Φ36(15枚/バッチ)

研磨パッド

ポリウレタンパッド

スエードパッド NP515

研磨材

酸化セリウム研磨材ミレークHLS2-4(三井金属鉱業㈱製)

研磨材濃度

16.7%

条件

荷重100g/cm2

回転数 60rpm

 

【テスト加工データ】

各パッド2日間のテストを行っており、その平均値を比較しています。

★ポリウレタンパッド

 

Data

Flatness

Rate(㎛/min)

Ra(㎛)

Ry(㎛)

P-V(㎛)

RMS(㎛)

1Day

1

0.28

0.0090

0.1010

  

2

0.29

0.0085

0.0700

  

3

0.28

0.0085

0.0650

  

4

0.28

0.0080

0.0670

  

2Day

1

0.30

0.0070

0.0580

1.10

0.17

2

0.29

0.0070

0.0650

0.91

0.13

3

0.29

0.0080

0.0690

0.97

0.14

4

0.29

0.0070

0.0630

1.04

0.13

Ave.

0.288

0.0079

0.0698

1.01

0.14

 

★スエードパッドNP515

 

Data

Flatness

Rate(㎛/min)

Ra(㎛)

Ry(㎛)

P-V(㎛)

RMS(㎛)

1Day

1

0.26

0.0060

0.0530

  

2

0.27

0.0070

0.0565

  

3

0.25

0.0065

0.0615

  

4

0.26

0.0065

0.0540

  

2Day

1

0.26

0.0060

0.0570

0.69

0.13

2

0.25

0.0060

0.0610

0.67

0.11

3

0.25

0.0070

0.0590

0.68

0.13

4

0.24

0.0070

0.0580

0.70

0.14

Ave.

0.255

0.0065

0.0575

0.69

0.13

 

 

<測定方法(測定器)>

※研磨Rateの測定:重量換算で算出

 

※Ra値、及びRy値の測定(面粗度計):㈱ミツトヨ製SV-3000シリーズ

 

※P-V値、及びRMS値の測定(フラットネステスター):㈱ニデック製FT-900

【加工テスト後の比較検証結果】

NP515Ave. ÷ ポリウレタンパッドAve.

Rate

88.70%

Ra

82.54%

Ry

82.44%

P-V

68.16%

RMS

89.47%

 

上記検証結果のように、スエードパッドに変更したことで研磨レートは約10%ダウンで済みましたが、面粗さは約20%の改善となり、次工程では研磨時間の短縮が見込まれます。

面精度(P-V値とRMS値)については、測定が難しく、あくまで参考値として頂ければと思いますが、懸念していたスエードパッドによる面精度の悪化は見られず、ポリウレタンパッドとほぼ同等の結果を得ることができました。

既に一部の業界ではポリウレタンパッドからスエードパッドへ変更して品質改善を図られているお客様もあります。ご興味がございましたら評価用サンプルの提供も可能ですので、是非一度お問合せをお願い致します。

<問合せ先>

八千代マイクロサイエンス株式会社

研削研磨事業部 営業部

TEL:03-3256-6011(東京)/TEL:06-6948-6671(大阪)

E-Mail:eigyo@ymi.co.jp

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