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事例2 フォトマスク用ガラス基板の加工例
フォトマスク基板
用途 :フォトマスク基板
材質 :合成石英ガラス
サイズ :5インチ角
従来の工法
  ・工程 :4工程
・工程時間 :180分
新工法(分割工具を使用)
  ・工程 :4工程
・工程時間 :150分
 【導入効果】
  (1)30分のリードタイム削減によるコストダウン
(2)精度管理が容易になり、品質向上に貢献
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